Lámparas de microlitografía HBO para sistemas i-line de ASML
Características del producto
- Alta intensidad espectral con irradiancia máxima a 365 nm de longitud de onda, lo que la hace ideal para microlitografía.
- Diseñado para un rendimiento duradero
- Calificado con ASML
- Calificado con ASML
Áreas de aplicación
- Microlitografía
Instrucciones de seguridad
Debido a su alta luminancia, radiación UV y alta presión interna (cuando están calientes), las lámparas HBO solo pueden ser operadas en casings de lámpara cerrados especialmente construidos para este propósito. Se libera mercurio si la lámpara se rompe. Se deben tomar precauciones de seguridad especiales. Más información está disponible a solicitud o se puede encontrar en el folleto incluido con la lámpara o en las instrucciones de operación.
Debido a su alta luminancia, radiación UV y alta presión interna (cuando están calientes), las lámparas HBO solo pueden ser operadas en casings de lámpara cerrados especialmente construidos para este propósito. Se libera mercurio si la lámpara se rompe. Se deben tomar precauciones de seguridad especiales. Más información está disponible a solicitud o se puede encontrar en el folleto incluido con la lámpara o en las instrucciones de operación.
Más sobre la familia de productos
Las lámparas HBO > 200W están diseñadas para cumplir con las altas demandas de la industria de semiconductores. Con una intensidad máxima de 365nm, estas lámparas son ideales para microlitografía y están diseñadas y calificadas para fabricantes de equipos específicos.
Productos
| Nombre del producto |
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Fichas técnicas | ||
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HBO 1003 W/PIL
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1003 W | 27.1 V | 85.0 mm | 195.0 mm | ||
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HBO 1500 W/PIL
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1500 W | 23 V | 118.0 mm | 273.0 mm | ||
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HBO 2100 W/PIL
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2100 W | 24 V | 118.0 mm | 240.0 mm | ||
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HBO 5500 W/PIL
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5500 W | 27 V | 154.0 mm | 325.5 mm | ||
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HBO 3502 W/PIL
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3502 W | 23 V | 154.0 mm | 357.0 mm |
