Lámparas de microlitografía HBO para otros sistemas

Características del producto
  • Alta intensidad espectral con irradiancia máxima a 365 nm de longitud de onda, lo que la hace ideal para microlitografía.
  • Diseñado para un rendimiento duradero.
  • Calificado con los principales fabricantes de equipos de microlitoografía.
  • Calificado con los principales fabricantes de equipos de microlitografía.
Áreas de aplicación
  • Microlitografía
Instrucciones de seguridad
Debido a su alta luminancia, radiación UV y alta presión interna (cuando están calientes), las lámparas HBO solo pueden ser operadas en carcasas de lámpara cerradas especialmente construidas para este propósito. Se libera mercurio si la lámpara se rompe. Se deben tomar precauciones de seguridad especiales. Más información está disponible a petición o se puede encontrar en el folleto incluido con la lámpara o en las instrucciones de operación.

Más sobre la familia de productos

Las lámparas HBO > 200W están diseñadas para satisfacer las altas demandas de la industria de semiconductores. Con una intensidad máxima de 365nm, estas lámparas son ideales para microlitografía y están diseñadas y calificadas para fabricantes de equipos específicos.

Productos

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Nombre del producto
Potencia nominal
Voltaje nominal
Longitud de centro de luz (LCL)
Longitud
Fichas técnicas
HBO 350 W/S
350 W 68 V 52.5 mm 127.0 mm
HBO 350 W
350 W 67.5 V 45.0 mm 128.0 mm
HBO 5000 W/HK
5000 W 70 V 152.5 mm 355.0 mm
HBO 1000 W/D
1000 W 37.7 V 89.5 mm 240.0 mm
HBO 201 W/HS-D2
201 W 25 V 150.0 mm
HBO 500 W/A
500 W 60 V 73.0 mm 190.0 mm
HBO 500 W/B
500 W 48.5 V 78.5 mm 175.0 mm

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