Lámparas de microlitografía HBO para sistemas i-line de Canon

Características del producto

Alta intensidad espectral con irradiancia máxima a 365 nm de longitud de onda, lo que la hace ideal para microlitografía.
Diseñado para un rendimiento duradero
Calificado con Canon
Calificado con Canon

Áreas de aplicación

Microlitografía

Instrucciones de seguridad
Debido a su alta luminancia, radiación UV y alta presión interna (cuando está caliente), las lámparas HBO solo pueden ser operadas en casquillos de lámpara cerrados especialmente construidos para este propósito. Se libera mercurio si la lámpara se rompe. Se deben tomar precauciones de seguridad especiales. Más información está disponible a solicitud o se puede encontrar en el folleto incluido con la lámpara o en las instrucciones de operación.

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Más sobre la familia de productos

Las lámparas HBO > 200W están diseñadas para satisfacer las altas demandas de la industria de semiconductores. Con una intensidad máxima de 365nm, estas lámparas son ideales para microlitografía y están diseñadas y calificadas para fabricantes de equipos específicos.

Productos

Sort by:
Nombre del producto	Potencia nominal	Voltaje nominal	Longitud de centro de luz (LCL)	Longitud
HBO 1002 W/CEL	750 W	47 V	78.5 mm	175.0 mm
HBO 1500 W/CIEL	1500 W	23.0 V	122.0 mm	262.0 mm
HBO 2001 W/CIEL	2000 W	26 V	148.75 mm	327.0 mm
HBO 2002 W/MA	2000 W	37 V	138.5 mm	270.0 mm
HBO 2001 W/CIL	2000 W	26 V		309.0 mm
HBO 2700 W/CIL	2700 W	26 V	149.1 mm	332.0 mm
HBO 4500 W/CIL	4500 W	30 V	157.75 mm	354.0 mm

Descargas

Fichas técnicas